1 | ÀüÀÚÁ¤º¸µð¹ÙÀ̽º»ê¾÷¿øõ±â¼ú°³¹ß»ç¾÷(Áö½Ä°æÁ¦ºÎ) | ¸Þ°¡¼Ò´Ð¼¼Á¤¸ðµâ°³¹ß | 2006.11.01~2011.10.31 | -Pattern damage¸¦ ÃÖ¼ÒÇÏ¿© 32nm±ÞÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ¸¦ ¼¼Á¤ÇÏ´Â ±â¼ú °³¹ß-°á°ú¹° : DURATWIN unit | -¼¼¸Þ½º ³³ÀÔ-»ï¼ºÀüÀÚ Àû¿ë Áß
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2 | °æ±âµµ±â¼ú°³¹ß»ç¾÷(°æ±â°úÇбâ¼úÁøÈï¿ø) | °íÁÖÆÄ Áøµ¿ Á¦Æ®¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ¼¼Á¤½Ã½ºÅÛ °³¹ß | 2010.07.01~2012.06.30 | -PanelÀÇ Ç¥¸é¿¡ °øÁ¤ Áß ¹ß»ýÇÏ´Â 3umÀÌ»óÀÇ ¿À¿°¹°À» °Ç½ÄÀ¸·Î ¼¼Á¤ ±â¼ú °³¹ß-±âÁ¸ ´ëºñ ¼¼Á¤ À¯È¿¿µ¿ªÀÇ ´ë¸éÀûÈ-°á°ú¹° : SLIM USC | -LG Display ³³ÀÔ-LG À̳ëÅØ ³³ÀÔ
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3 | Áß¼Ò±â¾÷±â¼ú°³¹ßÁö¿ø »ç¾÷(Áß¼Ò±â¾÷û) | žçÀüÁö ¼¿ ¿þÀÌÆÛ Etching ÀåÄ¡ °³¹ß | 2010.06.01~2012.05.31 | ¼¼Á¤°ú ¾ÖĪÀ» µ¿½Ã¿¡ ¼öÇàÇϴ ž籤 ¿þÀÌÆÛ Final ¼¼Á¤ÀåÄ¡ °³¹ß | MEMC ž籤 »ç¾÷ºÎ Àåºñ³³ÀÔ
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4 | ¿ì¼öÁ¦Á¶±â¼ú¿¬±¸¼¾ÅÍ»ç¾÷(Áö½Ä°æÁ¦ºÎ) | ´ÙÁß Áøµ¿¸ðµå¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ÃÊÀ½ÆÄ ¼¼Á¤±â¼ú °³¹ß | 2011.05.01~2015.04.30 | ´Ù¾çÇÑ ÃÊÀ½ÆÄ Áøµ¿¸ðµå¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¼¼Ã´¾×»óÀÇ À½¾ÐÀ» ±ÕÀÏÇÏ°Ô À¯ÁöÇÏ¿© ±ÕÀÏ ¼¼Á¤±â¼úÀÇ °³¹ß | Á¦Ç°°³¹ß¿¡ ±â¼úÀû¿ë
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5 | Áß¼Ò±â¾÷±â¼ú°³¹ßÁö¿ø »ç¾÷(Áß¼Ò±â¾÷û) | ¸¶ÀÌÅ©·Î ±âÆ÷°øÁøÀ» ÀÌ¿ëÇÑ Å¾籤 ¼¿¿þÀÌÆÛ ¼¼Á¤±â¼ú °³¹ß | 2012.06.01~2014.05.30 | ¸¶ÀÌÅ©·Î °øÁø±âÆ÷¸¦ »ý¼ºÇÏ¿© ÃÊÀ½ÆÄ¿¡ °ø±ÞÇÏ¿© ž籤 ¿þÀÌÆÛ¸¦ ¼¼Á¤ÇÏ´Â ±â¼ú ¹× ÀåºñÀÇ °³¹ß | -±âÆ÷»ý¼ºÀåÄ¡ Á¦Ç°È-»ï¼ºÀü±â ³³ÀÔ
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6 | °æ±âµµ±â¼ú°³¹ß»ç¾÷(°æ±â°úÇбâ¼úÁøÈï¿ø) | ¸¶ÀÌÅ©·Î DropletÀ» ÀÌ¿ëÇÑ È¸·Î±âÆÇ ¼¼Á¤±â¼ú °³¹ß | 2016.09.01~2017.08.31 | ÀÏÁ¤ÇÑ Å©±âÀÇ DropletÇü¼ºÀº ¸¶ÀÌÅ©·ÎȦ(10~100um)ÀÇ ³ëÁñ À§Ãø¿¡ Piezo¿¡ ÀÇÇÑ Áøµ¿À» ºÎ¿©ÇÏ¿© ±ÕÀÏÇÏ°Ô ¼¼Á¤ÇÔ |
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7 | Áß¼Ò±â¾÷±â¼ú°³¹ßÁö¿ø »ç¾÷(Áß¼Ò±â¾÷û) | 100§±Þ ÁøÆøÀ» °¡Áö´Â ¿ëÂø ¸ðµå ¼±ÅÃÇü ÃÊÀ½ÆÄ ±Ý¼Ó À¶Âø ÀåÄ¡ °³¹ß | 2017.05.01~2019.04.30 | 100um ÀÌ»ó °íÁøÆøÀ» °¡Áö´Â Áøµ¿ÀÚ ¹× ¾×Ãß·¹ÀÌÅ͸¦ ¿¬±¸ÇÏ¿© ±Ý¼Ó ¿ëÂø¿¡ Àû¿ëÇÏ´Â ÀåÄ¡ °³¹ß | |