FPD Panel (LCD, OLED, Glass) 세정 UNIT
특징
- Panel 상부에 설치되어 직접으로 세정하는 장치
- 균일한 음압과 세정성능으로 대면적 8세대이상의 OLED 생산공정 적용
- Glass 진입초기시 수막 형성이 빠름
- 대면적 메가소닉 유효영역을 가져 제거율이 뛰어남
- Glass 메가소닉이 직접조사되는 방식으로 세정효과 우수
(1㎛이하 파티클관리)
- 대면적 Glass(OLED/LCD라인) G2~G 8 라인 세정유니트
Duratwin
FEATURES
정밀가공
Wafer, HDD, 정밀가공품의 세정에 적합
Sub-micron
Sub-micron 오염물 세정에 탁월한 효과를 얻을 수 있음
Wafer 상부에 설치하여 직접 초음파를 조사하여 세정하는 방식
2개의 압전소자를 적용, 중첩음압을 발생시켜 세정영역에 균일하게 초음파 에너지 전달
노즐의 세정면을 Quartz로 제작하여 세정 후 금속 잔여물이 남지않음
