■ LCD 패널 기준 Glass Bead 3um 이상 부유이물 입자 제거율 약 90% Pressure slit에서 발생되어진 다양한 고속진동제트로 인해 Boundary layer 낮추어 입자 제거율 향상 ■ Pressure slit에서 생성되는 고속진동제트 발생부와 하부 slit에서 생성되는 2차 고속진동제트로 인해 고속진동제트의 에너지가 세정 장치 내에서 유지되는 구조 설계
