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■ 사파이어 웨이퍼 2~8” 세정
■ 초음파세정- 린스- 건조 자동세정프로세스
■ 열풍건조방식, MIR건조방식 적용
■ 로봇이송방식 적용가능
| MODEL | 6-BATH PEELING AUTO MACHINE |
| 세척대상물 | Sapphire Wafer 2/4/6/8 inch |
| 세척공정 | 초음파 세척 및 린스 |
| 건조공정 | 열풍 건조 방식 |
| 구동부 | UP/DOWN, 자동이송 |
| Capa | 협의 |
| Tack Time | 10분 |
| 옵션 | Auto Dosing Unit 외 |
| 조작반 | 10 inch Touch 판넬 |
| 안전장치 | Over / Level / Limit sensor and Interlock |